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      3. 各ウェハー製品仕様

        ダストフリーウェハー
           在庫情報はこちらをご覧ください

        項目 Unit 仕様
        サイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
        製法 - CZ / FZ
        タイプ - P or N
        ドーパント - B / P / As / Sb / ノンドープ
        結晶方位 -
        厚み μm 280 380 525 525/625 625 725 775
        厚み公差 μm 20 20 25 25 25 25 25
        抵抗値 Ω?cm 0.001~10000Ω
        オリフラ - ○/ノッチ ノッチ
        パーティクル Lv 0.3μm以上10個以下(≧0.3μm ≦10ea)
        面状態 - 片面ミラー 両面ミラー
        数量 lot 25枚
        梱包形態 - ウェハーケース+クリーンパック
        備考 - *高精度ウェハーお問い合わせください。
        *低パーティクルウェハーお問い合わせください。
        *各種膜付けお問い合わせください。

        ダミーウェハー

        項目 Unit 仕様
        サイズ inch 2 3 4 5 6 8 12
        タイプ - P or N / 不問
        結晶方位 -
        厚み μm 280 380 525 525/625 625 725 775
        厚み公差 μm 20 20 25 25 25 25 25
        抵抗値 Ω?cm 不問
        オリフラ - ノッチ ノッチ
        パーティクル Lv 不問
        面状態 - 片面ミラー 両面ミラー
        数量 lot 25枚
        梱包形態 - コインロール(重ね合わせ)
        備考 - -

        SOIウェハー

        項目 Unit 仕様
        サイズ inch 2 3 4 5 6 8
        活性層 Unit 仕様
        製法 - CZ / FZ
        タイプ?導電型 - P / N / ノンドープ
        ドーパント - B / P / As / Sb
        結晶方位 -
        厚み μm 1.5-500
        抵抗値 Ω·cm 0.001至10000Ω
        埋め込み酸化膜 μm 0.05?10
        支持基盤 - 仕様
        製法 Lv CZ / FZ
        タイプ?導電型 - P / N / ノンドープ
        ドーパント - B / P / As / Sb
        結晶方位 -
        厚み μm JEITA?SEMI標準 / 100 ~ 2000
        抵抗値 Ω? cm 0.01?10000Ω
        備考 Ω? cm *製法やドーパントの種類によって対応できる値が異なります

        Wafer Dimension Specification SEMI-JEIDA 比較表

                                
        DIAMETERDimensionSEMI50.8-76.280 90 100 125150200
        JEIDA 50 60 76 - 90 100 125 150 200



        ToleranceSEMI 0.38 - 0.63 - 0.5 0.5 0.2 0.2 0.2



        JEIDA 0.5 0.5 0.50.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5



        THICKNESSDimensionSEMI0.279-0.3810.4 0.475 0.52 0.6250.6250.6750.725
        JEIDA 0.28 0.33 0.38- 0.475 0.525 0.625 0.625 0.725



        ToleranceSEMI 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.02 0.02 0.02 0.02



        JEIDA 0.010 0.015 0.015 - 0.025 0.015 0.0150.0150.025



        PRIMARYDimensionSEMI15.88 - 22.22 22 27 32.5 42.5 57.5 57.5


        FLAT LENGTHJEIDA 17.5 20 22 - 27 32.5 42.5 47.5 57.5



        ToleranceSEMI1.65 - 3.17 3 3 2.5 2.5 2.5 2.5



        JEIDA 2.52.52.5- 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5


        SECONDARYDimensionSEMI8 - 11.18 11.5 13.5 18 27.5 37.5 NO 2nd flat


        FLAT LENGTHJEIDA ---- - - - - -


        BOW MAXDimensionSEMI0.038 - 0.04 0.04 0.04 0.04 0.040.060.065


        JEIDA ---- - - - - -


        TOTAL THICKNESSDimensionSEMI0.012 - 0.025 0.025 0.025 0.01 0.010.01 0.01


        VARIATIONJEIDA 0.015 0.02 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.025 0.025


        PROFILEDimensionSEMI0.093      - 0.127 0.133 0.158 0.175 0.208 0.208 0.225 0.242


        VARIATION---- - - - - --


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